ライン上では、フォトレジストはわずかなばらつきも許しません。少しでも温度制御が狂うと、CDの制御が崩れてしまい、最終的にはウェーハ全体で欠陥を探すことになります。私たちは、このような熱処理のばらつきを解消するために、DNSスクリーンウェーハドライヤーランプを開発しました。 内部で重要なのは何か ウ...

大きなパティオや風の強い作業場を暖めようとしても、暖気がすぐに消えてしまった経験はありませんか？一般的な対流式ヒーターは空気を循環させますが、その多くは必要な場所に届きません。赤外線ヒーターは原理が異なります。放射エネルギーを直接人や物体に向けるため、ビームの中に入った瞬間に熱を感じます。 内部構...