ライン上では、フォトレジストはわずかなばらつきも許しません。少しでも温度制御が狂うと、CDの制御が崩れてしまい、最終的にはウェーハ全体で欠陥を探すことになります。私たちは、このような熱処理のばらつきを解消するために、DNSスクリーンウェーハドライヤーランプを開発しました。
内部で重要なのは何か ウェーハ面全体で±0.1℃の温度均一性が得られるため、各露光領域で同じ熱条件が保たれます。クリーンルームとの互換性も重要です。クラス1～100のクリーンルーム内では、アセンブリ時に粒子が大量に発生することがないため、粒子数の制御が容易になります。短波長の赤外線によって基板が直接加熱されるため、温めるのが速く、無駄なエネルギーの消費も少なくなります。石英容器に収められたエミッターは、フォトレジスト処理に必要な温度プロファイルを安定して維持し、制御ループによって設定値がシフトしないようになっています。
なぜリソグラフィーに適しているのか リソグラフィーにおいて、このドライヤーランプは適切な温度範囲を維持し、ライン幅の変動や再作業を減らします。設定温度に到達するのも早く、またフォトレジストの接着力にも悪影響を与えません。安定した温度プロファイルにより、大量生産時でも歩留まりが保たれます。その結果、廃棄されるウェーハが減り、廃棄コストも低下し、工場内でのマシン間の性能差もなくなります。
設置およびメンテナンスに関する注意点 設置時には、装置のインターフェースを合わせ、ランプエリアが負圧状態になるように排気路を確認する必要があります。このランプは24時間連続稼働用に設計されていますが、他の精密な熱源と同様に、電力供給や冷却システムが適切に設計されている場合に最適に機能します。長期にわたって性能を維持するためには、定期的なランプ交換が必要です。