赤外線ソフトベイクランプ

リソグラフィー工程におけるソフトベイク温度の均一性は、好みではなく仕様です。ウエハ全体で1℃の変動があると、重要な寸法がずれ、サイドウォールプロファイルが損なわれ、ロットごとに歩留まりが低下します。我々は、この変動を排除するために赤外線ソフトベイクランプを設計しました。 コアは近赤外線（NIR）放...