クリーンルーム内のベンチヒーティングを最大限に活用する方法 もし、これまでにシリコンウェハを加熱する作業をしたことがあるなら、その苦労はよくわかるでしょう。エネルギーを供給しているにもかかわらず、その多くが無駄に消えてしまいます。そのエネルギーはケース内に漏れ出し、電力の無駄遣いになり、全体の温度...

ウエハー加熱の効率を最大限に引き出すには 半導体クリーンルームで使用されるトロリーを使う際、単に「物を温める」だけでは不十分です。重要なのは、エネルギーを正確に必要な場所、つまりウエハーの表面に送り込むことです。 ほとんどの人々は通常の石英ランプを使っていますが、これらは熱をあらゆる方向に放出して...