オックスフォード・インスツルメンツの加熱素子

ライン上では、熱ドリフトは警告ラベルのように現れるものではない。5 nmのオーバーレイズレ、現像後のスカムライン、あるいは一つのベークプレートに起因する歩留まりの低下として現れる。リソグラフィおよびフォトレジストプロセスにおいて、温度は単なる背景ノイズではなく、プロセスそのものだ。 この現実に対応...