真空対応の赤外線ヒーター

ウェーハにより多くの熱を与え、同時に壁面への熱の伝わりを減らす方法 真空状態でウェーハを加熱する際、物理法則と戦っていることになります。空気がないため、対流に頼ることはできません。結局、放射熱に頼るしかありません。 問題は、ウェーハに届かない1ワットごとのエネルギーは無駄になってしまうということで...