ウェーハ用カスタム赤外線ヒーター

リソグラフィ現場では、フォトレジストのベーク温度が0.5°Cずれることは「小さな誤差」ではない。これはウェーハの廃棄、マスク層の損失、そしてスケジュール遅延を意味する。ウェーハレベルでの熱予算は厳密であり、再現性は必須である。この現実に基づき、ウェーハ処理用のカスタム赤外線ヒーターを開発した。歩留...