装置を壊すのをやめよう：金メッキ処理を施したIRランプの利点 半導体製造工場で働いたことがある人なら、その苦労はよくわかるでしょう。ウェーハを高温にする必要がありますが、装置全体をオーブンのようにしてしまっては困ります。 ほとんどの赤外線ランプは、360度全方位に熱を放出します。これは無駄なエネル...

クラス100のクリーンルームを実際に清潔な状態に保つために もしクラス100のクリーンルームを運営しているなら、ガスが漏れ出したり、本来あってはならない場所に微粒子が浮遊するという悩みをよくご存知でしょう。これは絶え間ない戦いです。一般的な赤外線ランプでは、加熱や冷却の際に不純物が漏れ出したり、小...