クラス100のクリーンルームを本当に清潔な状態に保つためには、単に「ほぼ清潔」であるだけでは不十分です。ワークスペースに粒子が飛び散ったり、何かが剥がれ落ちたりしてはいけません。問題は、一般的なヒーターはこのような環境では使い物にならないことです。加熱や冷却の際にガスが発生したり、本体が壊れてしま...

なぜ、クォーツシールドの誘電体試験をこだわって行うのか？ 製造用ランプに使われているクォーツガラスシールドは、高電圧の加熱要素と機械の他の部分との間にある唯一の障壁と言えます。確かに、このシールドは熱を受け止め、光を通す役割もありますが、本当の役割は、電気を本来あるべき場所に留めておくことです。...

クリーンな環境を維持する：クラス100のクリーンルームにおける加熱処理 クラス100のクリーンルームで作業を行う際、加熱というのは単に適切な温度を保つことだけではありません。実際には、微粒子と戦うことでもあります。半導体や医療機器の製造を行っている方なら、その重要性がよくわかるでしょう。わずかな微...

ほら、乾燥ラインでは、加熱要素が最初に壊れることが多いのです。そして、それが起きると、単に「電球が割れただけ」というわけにはいきません。わずかな絶縁不良や誘電体の破損で、装置全体がダメになってしまう可能性があります。最悪の場合、作業員の命まで危険にさらされることもあります。 だからこそ、私たちは「...

なぜファブでは赤外線加熱の方が熱風より優れているのか 「時間コスト」について考えてみましょう。半導体製造工場では、待ち時間こそが最大の敵です。チャンバーが所定の温度に達するのを待つ間も、熱がウェハーに十分に伝わるのを待つ間も、無駄に過ごされる1秒1秒は、生産効率を低下させる要因となります。 だから...

フレキシブルディスプレイの製造ラインにおいて、乾燥工程は単なる一時停止に過ぎません。それは、正しいパターンが形成されるか、廃棄物となるかの分かれ目なのです。 ランプの性能が低下すると、溶剤が残り続けます。フォトレジストの表面も均一にならず、CD値も不安定になります。その結果、再作業やロットの失敗、...