ウェーハ用高精度IRセンサー
なぜ、すべてのウェーハ型IRセンサーに対してストレステストを行うのか? シリコンを加工する際、失敗の代償は非常に大きい。わずかな電気漏れがあっただけで、そのロット全体が廃棄処分になってしまうのだ。 だからこそ、私たちは「サンプルテスト」を行わない。10個に1個だけテストして、うまくいくことを願うの...
スマートセンサーパッケージ 赤外線
なぜ赤外線加熱が半導体製造に最適なのか
センサーの封装工程を経験したことがある人なら、その手間のかかり方をよく知っているでしょう。接着剤を硬化させたり、部品を安定させたりするには、古式の熱風オーブンを待つしかありません。
問題は、強制送風方式では時間がかかりすぎるという点です。まず空気を温めてから...
ウェーハ加工ツール用温度センサー
ファブの現場では、焼成温度がわずか0.5度変動しても、ウェーハの寸法にナノメートル単位の影響が出ます。そうなると、そのウェーハは廃棄処分されてしまいます。ウェーハ用の温度センサーは単なる付加装置ではありません。これらのセンサーは、リソグラフィーやフォトレジストのソフトベイク、ハードベイク、そしてウ...