Evatec 蒸発器加熱ランプ

ファブフロアでは、フォトレジストのベーキング中に0.3℃のドリフトは「小さな偏差」ではありません。それは歩留まりに影響します。ソフトベークとハードベークの温度が変動すると、クリティカルディメンションコントロールが崩れ、ラインはデータを信頼しなくなります。私たちは、その不確実性を排除するために...