金コーティングを施した赤外線ランプ：ウェーハにすべてのエネルギーを届ける さっそく本題に入りましょう。半導体製造では、必要な場所で、必要な時に熱を供給することが求められます。無駄があってはならず、効率的でなければなりません。まさにそのために、私たちは金コーティングを施した赤外線ランプを開発しました...

私たちは、ウェーハの硬化処理に使用されるランプ用の反射器を開発しました。これは、製造ラインで抱えていた大きな問題を解決するものです。つまり、機械全体が炉のようになってしまわないようにしながら、ウェーハに最大限の熱エネルギーを与える方法です。基本的な考え方はシンプルです——必要な場所にだけ熱を集中さ...

製造現場では、許容範囲に隠れることはできません。ホットプレートの位置が半度でもずれると、ウェーハの線幅に変動が生じ、それによってウェーハがダメになってしまいます。ソフトベイクやハードベイクの時間や温度は秒単位、度単位で測定されるため、余裕はありません。IRランプは安定して再現性のある熱を供給しなけ...