柔軟なディスプレイ用乾燥ランプ製造装置

フレキシブルディスプレイの製造ラインにおいて、乾燥工程は単なる一時停止に過ぎません。それは、正しいパターンが形成されるか、廃棄物となるかの分かれ目なのです。 ランプの性能が低下すると、溶剤が残り続けます。フォトレジストの表面も均一にならず、CD値も不安定になります。その結果、再作業やロットの失敗、...