ほら、乾燥ラインでは、加熱要素が最初に壊れることが多いのです。そして、それが起きると、単に「電球が割れただけ」というわけにはいきません。わずかな絶縁不良や誘電体の破損で、装置全体がダメになってしまう可能性があります。最悪の場合、作業員の命まで危険にさらされることもあります。 だからこそ、私たちは「...

フレキシブルディスプレイの製造ラインにおいて、乾燥工程は単なる一時停止に過ぎません。それは、正しいパターンが形成されるか、廃棄物となるかの分かれ目なのです。 ランプの性能が低下すると、溶剤が残り続けます。フォトレジストの表面も均一にならず、CD値も不安定になります。その結果、再作業やロットの失敗、...

ウェハーが最終すすぎから出てくる様子を確認してください。乾燥工程が確実に行われないと、ウォーターマークが発生し、フォトレジストの下層膜が剥離し始め、歩留まりに悪影響が出ます。当社のシリコンウェハー乾燥用赤外線ランプは、その変動要因を排除するために設計されています。 内部の重要ポイント 短波長赤外線...