半導体スパッタリングヒーター

製造現場では、スパッタリングチャンバー内の熱プロファイルは単なるパラメータの一つではない。これは厳格な制限値である。ヒーターがドリフトし始めると、膜応力も連動して変化し、歩留まりに影響を及ぼす。今回開発した半導体用スパッタリングヒーターは、基板を目標温度に安定的に固定し、堆積工程が熱予算と競合する...