半導体クリーンルーム用トロリーヒーター

ウエハー加熱の効率を最大限に引き出すには 半導体クリーンルームで使用されるトロリーを使う際、単に「物を温める」だけでは不十分です。重要なのは、エネルギーを正確に必要な場所、つまりウエハーの表面に送り込むことです。 ほとんどの人々は通常の石英ランプを使っていますが、これらは熱をあらゆる方向に放出して...