省エネ型ウェーハヒーター

ファブ内の炭素排出量を削減する：なぜ赤外線加熱が有効なのか 現在、すべてのファブは炭素中立という目標を達成するために大変なプレッシャーにさらされています。問題の多くは、特にウェーハの加熱や硬化の過程で発生する無駄なエネルギーです。 私たちの多くは依然として従来の抵抗式ヒーターを使っていますが、実際...