ウエハー加熱の効率を最大限に引き出すには 半導体クリーンルームで使用されるトロリーを使う際、単に「物を温める」だけでは不十分です。重要なのは、エネルギーを正確に必要な場所、つまりウエハーの表面に送り込むことです。 ほとんどの人々は通常の石英ランプを使っていますが、これらは熱をあらゆる方向に放出して...

装置を壊すのをやめよう：金メッキ処理を施したIRランプの利点 半導体製造工場で働いたことがある人なら、その苦労はよくわかるでしょう。ウェーハを高温にする必要がありますが、装置全体をオーブンのようにしてしまっては困ります。 ほとんどの赤外線ランプは、360度全方位に熱を放出します。これは無駄なエネル...

なぜ赤外線加熱が熱風加熱より優れているのか（そして、どのような場合には適していないのか） まず、遅延の問題について話しましょう。熱風循環方式を使う場合、基本的には待つしかありません。空気を加熱した後、その空気がウェーハを温めるのを待つわけです。これは中間過程と言えます。半導体製造においては、この遅...

完璧な性能を発揮する半導体用ヒーター要素 つまり、あの大型半導体製造機用のヒーター要素の代替品を探しているのですよね。ご存知の通り、単に形状が合致するだけでは不十分です。実際に優れた性能を発揮するものが求められます。 それこそが、私たちが作ったものです。 私たちは、世界トップクラスのインフラレッド...

そのライン上では、300mmウェハがソフトベイクのために置かれており、これによって線幅の制御が行われます。もしホットプレートの位置がわずかにでもずれてしまうと、CDの均一性が悪化し、結果としてそのロット全体が廃棄処分になってしまいます。私たちは、まさにこのような状況に対応するための半導体ヒーターを...

製造現場では、ご存知の通り、わずか0.5度の温度変化でも重要な寸法が変わってしまいます。また、過度に高温で加熱すると、エネルギーだけでなく、フォトレジストも損傷してしまいます。必要なのは、シフトを重ねても、ツールを変えても、ロットを変えても、安定した温度制御です。 私たちは、短波赤外線を利用した加...

ウェーハ加工の現場では、フォトレジストを焼成する際の温度は単なる目安ではなく、必須の規格です。もし温度が0.5度でもずれてしまうと、CDの位置が変わってしまいます。その結果、スクラップや再作業に莫大なコストがかかります。だからこそ、調光機能付きの半導体ヒーターランプが存在するのです。これにより、正...

製造現場では、スパッタリングチャンバー内の熱プロファイルは単なるパラメータの一つではない。これは厳格な制限値である。ヒーターがドリフトし始めると、膜応力も連動して変化し、歩留まりに影響を及ぼす。今回開発した半導体用スパッタリングヒーターは、基板を目標温度に安定的に固定し、堆積工程が熱予算と競合する...