クリーンルーム内のベンチヒーティングを最大限に活用する方法 もし、これまでにシリコンウェハを加熱する作業をしたことがあるなら、その苦労はよくわかるでしょう。エネルギーを供給しているにもかかわらず、その多くが無駄に消えてしまいます。そのエネルギーはケース内に漏れ出し、電力の無駄遣いになり、全体の温度...

化学物質の存在する環境でIRランプを安全に使うために バイオセンサーを作成する際、化学的な洗浄工程は本当に大変です。なぜなら、火災や爆発を引き起こしやすい溶剤を扱わなければならないからです。通常の赤外線ランプをそのような環境に置くと、火花が発生する可能性があります。 そこで私たちは、そうしたリスク...

ウェーハを洗浄する際には、時間との戦いです。できるだけ早く水分を除去しなければなりませんが、熱を強く当てすぎると基板が損傷してしまいます。 この問題を解決するために、私たちは防水機能付きの赤外線ランプを使用します。しかし、本当の鍵となるのは、金でコーティングされた反射板です。これがなければ、多くの...

なぜ、クォーツシールドの誘電体試験をこだわって行うのか？ 製造用ランプに使われているクォーツガラスシールドは、高電圧の加熱要素と機械の他の部分との間にある唯一の障壁と言えます。確かに、このシールドは熱を受け止め、光を通す役割もありますが、本当の役割は、電気を本来あるべき場所に留めておくことです。...

クリーンな環境を維持する：クラス100のクリーンルームにおける加熱処理 クラス100のクリーンルームで作業を行う際、加熱というのは単に適切な温度を保つことだけではありません。実際には、微粒子と戦うことでもあります。半導体や医療機器の製造を行っている方なら、その重要性がよくわかるでしょう。わずかな微...

装置を壊すのをやめよう：金メッキ処理を施したIRランプの利点 半導体製造工場で働いたことがある人なら、その苦労はよくわかるでしょう。ウェーハを高温にする必要がありますが、装置全体をオーブンのようにしてしまっては困ります。 ほとんどの赤外線ランプは、360度全方位に熱を放出します。これは無駄なエネル...

クラス100のクリーンルームを実際に清潔な状態に保つために もしクラス100のクリーンルームを運営しているなら、ガスが漏れ出したり、本来あってはならない場所に微粒子が浮遊するという悩みをよくご存知でしょう。これは絶え間ない戦いです。一般的な赤外線ランプでは、加熱や冷却の際に不純物が漏れ出したり、小...

時間の無駄をやめよう：なぜ私たちはオゾンを発生させない赤外線を使うのか 機器が準備できるのを待っているだけのように感じたことはありませんか？ それが強制対流式の問題点です。部品を加熱するには、まず空気を温め、その後チャンバーを温め、最終的に基板を温める必要があります。これは非効率的です。これを「時...

私たちは、ウェーハの硬化処理に使用されるランプ用の反射器を開発しました。これは、製造ラインで抱えていた大きな問題を解決するものです。つまり、機械全体が炉のようになってしまわないようにしながら、ウェーハに最大限の熱エネルギーを与える方法です。基本的な考え方はシンプルです——必要な場所にだけ熱を集中さ...

半導体ウェーハの加熱において、コストを削減しつつも品質を損なわない方法についてご説明しましょう。ブランド名による高額な費用を支払わずに、必要な性能を得る方法です。半導体業界では、各ステップでのコストが積み重なっていきます。私たちが開発した赤外線ウェーハヒーターは、大手メーカー製品と同等の高い熱出力...

ライン上では、フォトレジストはわずかなばらつきも許しません。少しでも温度制御が狂うと、CDの制御が崩れてしまい、最終的にはウェーハ全体で欠陥を探すことになります。私たちは、このような熱処理のばらつきを解消するために、DNSスクリーンウェーハドライヤーランプを開発しました。 内部で重要なのは何か ウ...

フレキシブルディスプレイの製造ラインにおいて、乾燥工程は単なる一時停止に過ぎません。それは、正しいパターンが形成されるか、廃棄物となるかの分かれ目なのです。 ランプの性能が低下すると、溶剤が残り続けます。フォトレジストの表面も均一にならず、CD値も不安定になります。その結果、再作業やロットの失敗、...

製造現場では、許容範囲に隠れることはできません。ホットプレートの位置が半度でもずれると、ウェーハの線幅に変動が生じ、それによってウェーハがダメになってしまいます。ソフトベイクやハードベイクの時間や温度は秒単位、度単位で測定されるため、余裕はありません。IRランプは安定して再現性のある熱を供給しなけ...

ウェーハ加工の現場では、フォトレジストを焼成する際の温度は単なる目安ではなく、必須の規格です。もし温度が0.5度でもずれてしまうと、CDの位置が変わってしまいます。その結果、スクラップや再作業に莫大なコストがかかります。だからこそ、調光機能付きの半導体ヒーターランプが存在するのです。これにより、正...

ファブフロアでは、フォトレジストのベーキング中に0.3℃のドリフトは「小さな偏差」ではありません。それは歩留まりに影響します。ソフトベークとハードベークの温度が変動すると、クリティカルディメンションコントロールが崩れ、ラインはデータを信頼しなくなります。私たちは、その不確実性を排除するために...

リソグラフィー工程におけるソフトベイク温度の均一性は、好みではなく仕様です。ウエハ全体で1℃の変動があると、重要な寸法がずれ、サイドウォールプロファイルが損なわれ、ロットごとに歩留まりが低下します。我々は、この変動を排除するために赤外線ソフトベイクランプを設計しました。 コアは近赤外線（NIR）放...

ウェハーが最終すすぎから出てくる様子を確認してください。乾燥工程が確実に行われないと、ウォーターマークが発生し、フォトレジストの下層膜が剥離し始め、歩留まりに悪影響が出ます。当社のシリコンウェハー乾燥用赤外線ランプは、その変動要因を排除するために設計されています。 内部の重要ポイント 短波長赤外線...