半導体ウェーハの加熱において、コストを削減しつつも品質を損なわない方法についてご説明しましょう。ブランド名による高額な費用を支払わずに、必要な性能を得る方法です。半導体業界では、各ステップでのコストが積み重なっていきます。私たちが開発した赤外線ウェーハヒーターは、大手メーカー製品と同等の高い熱出力...

ファブフロアにおいて、フォトレジストのベークは単なる温度管理の工程ではなく、公差である。 2℃の逸脱はクリティカルディメンションのバイアスを変動させ、わずかな粒子の混入が多くの良品ウェハを損なう。 真のプロセスパラメータとして機能する熱制御が必要であり、装置に後付けされた補助的な要素では不十分であ...