ほら、乾燥ラインでは、加熱要素が最初に壊れることが多いのです。そして、それが起きると、単に「電球が割れただけ」というわけにはいきません。わずかな絶縁不良や誘電体の破損で、装置全体がダメになってしまう可能性があります。最悪の場合、作業員の命まで危険にさらされることもあります。 だからこそ、私たちは「...

ファブ内の炭素排出量を削減する：なぜ赤外線加熱が有効なのか 現在、すべてのファブは炭素中立という目標を達成するために大変なプレッシャーにさらされています。問題の多くは、特にウェーハの加熱や硬化の過程で発生する無駄なエネルギーです。 私たちの多くは依然として従来の抵抗式ヒーターを使っていますが、実際...

製造現場では、ご存知の通り、わずか0.5度の温度変化でも重要な寸法が変わってしまいます。また、過度に高温で加熱すると、エネルギーだけでなく、フォトレジストも損傷してしまいます。必要なのは、シフトを重ねても、ツールを変えても、ロットを変えても、安定した温度制御です。 私たちは、短波赤外線を利用した加...