Evatec 蒸发器加热灯

在制造车间内，光刻胶烘烤过程中0.3°C的温度漂移并非“微小偏差”，而是直接影响良率。当软烘和硬烘温度波动时，关键尺寸控制就会失效，产线对数据的信任也会降低。我们研发了Evatec蒸发器加热灯，以消除这种不确定性。 技术关键点 该灯采用短波红外（SWIR）通过石英进行传递——加热迅速、直接且热惯性...