节能型晶圆加热器

在芯片制造过程中减少碳排放：为什么红外线加热如此有效？ 目前，所有的芯片制造厂都面临着实现碳中和目标的巨大压力。其中最大的问题就是能源的浪费——尤其是在晶圆加热和固化过程中。 我们大多数人仍然在使用传统的电阻式加热器，但实际上，这种加热器的效率很低。我们已经开始转向使用短波红外线灯，因为它们的工作...