晶圆加热的安全距离
让我们来谈谈在高负荷半导体生产线上究竟会发生什么。一旦有灯泡损坏,那不仅仅是生产线暂停运转的问题,还会导致晶圆报废,造成巨大经济损失。我们设计了红外线卤素加热灯,就是为了从源头避免这种灾难性后果。
这并非依靠蛮力,而是通过巧妙的工程设计来确保安全距离,并精确控制热量输出。
功率、电压与几何结构——...
Evatec 蒸发器加热灯
在制造车间内,光刻胶烘烤过程中0.3°C的温度漂移并非“微小偏差”,而是直接影响良率。当软烘和硬烘温度波动时,关键尺寸控制就会失效,产线对数据的信任也会降低。我们研发了Evatec蒸发器加热灯,以消除这种不确定性。
技术关键点
该灯采用短波红外(SWIR)通过石英进行传递——加热迅速、直接且热惯性...