在光刻过程中，光阻对温度变化极为敏感。哪怕是微小的温度偏差，都会导致CD控制失效，进而使得整个生产过程充满缺陷。因此，我们设计了DNS型晶圆干燥灯，以此来消除这一热处理环节中的不确定性。 关键在于温度的均匀性 该干燥灯能够确保晶圆表面的温度均匀性达到±0.1°C，这样每个曝光区域都能获得相同的温度...

曾尝试加热大型露台或通风不良的车间，却发现热量很快就消散于空气中？普通对流加热器通过推动空气流动传递热量，但大多数热风并未送达实际需要的位置。红外加热则不同。它将辐射能量直接作用于人员和物体，因此你一进入红外束的范围内就能感受到热量。 内部关键技术 我们将这款触摸屏红外加热器构建在碳纤维或石英元件...