硅片干燥红外灯

观察晶圆从最终漂洗过程出来。如果干燥步骤没有做到位，就会出现水渍，光刻胶底层开始起层，良率也会受到影响。我们设计的硅晶圆干燥红外灯旨在消除这一变量。 引擎盖下的关键点 它采用短波红外，将能量直接传递到薄膜和基底。在烘烤区内，晶圆级温度均匀性保持在±0.1°C以内，因此关键温度—软烘、硬烘及后烘—能...