半导体溅射加热器

在晶圆制造车间，溅射腔体内的热剖面不仅仅是一个简单的参数。它是一个硬性限制。如果加热器开始漂移，薄膜应力也会随之变化——产量将受到影响。我们设计这款半导体溅射加热器，旨在持续将晶圆保持在目标温度，从而确保沉积步骤不会超出热预算。 核心关键点 该装置采用石英组件中的短波卤素灯实现目标温度——快速、洁...