红外灯用铝制反射器

在制造车间里，你无法依靠公差来规避问题。如果加热板的位置偏差半度，就会导致晶圆上的线条宽度发生变化，进而造成晶圆报废。而软烘烤和硬烘烤的时长都是以秒和度来衡量的，根本没有出错的余地。红外灯组必须能够提供稳定且可重复的热量——否则，光刻过程就无法正常进行。 从技术层面来看，我们的红外灯用铝制反射器是...