晶圆加工设备用温度传感器

在晶圆加工过程中，温度的微小变化都可能影响产品的质量。哪怕温度只相差半度，就可能导致关键尺寸出现纳米级的偏差，从而导致产品报废。因此，晶圆加工设备上必须配备温度传感器，这些传感器能够为光刻、光阻软化处理、光阻固化处理以及晶圆清洗等工序设定合适的温度参数。如果温度控制不准确，那么产品的合格率就会下降...