用于晶圆的精密红外传感器
为什么我们要对每一块红外传感器进行压力测试? 在处理硅材料时,风险极高。哪怕只是出现一点点电气泄漏,那意味着整批产品都报废了。 因此,我们不会只检测其中的部分样本,而是会对每一件产品都进行高压测试和绝缘电阻测试,确保其在离开工厂之前就符合标准。
故意让产品承受极端压力 实际上,我们会故意将电压提升...
红外灯用铝制反射器
在制造车间里,你无法依靠公差来规避问题。如果加热板的位置偏差半度,就会导致晶圆上的线条宽度发生变化,进而造成晶圆报废。而软烘烤和硬烘烤的时长都是以秒和度来衡量的,根本没有出错的余地。红外灯组必须能够提供稳定且可重复的热量——否则,光刻过程就无法正常进行。
从技术层面来看,我们的红外灯用铝制反射器是...
红外发射器的陶瓷端盖
在晶圆加工过程中,只要光刻胶的烘干温度出现哪怕微小的偏差,都会严重影响线宽控制及产品良率。因此,热稳定性是至关重要的。红外发射器组件上的陶瓷端帽正是为了解决这个问题而设计的,它能够确保热场在晶圆所在位置保持稳定。
真正重要的因素是什么? 陶瓷端帽既是热界面,也是固定红外发射器的机械结构,从而保证其...