
在清洗晶圆时,实际上就是在与时间赛跑。必须尽快去除晶圆上的水分,但同时又不能使用过高的温度,否则会损坏晶圆本身。
为了解决这个问题,我们使用了防水的红外线灯。不过,真正的关键在于那些镀有黄金的反射器。如果没有这些反射器,大量的热能就会浪费在机器的机壳上,既浪费了能源,也浪费了时间。
为什么选黄金? 大多数人会首先选择铝制反射器,但它们会吸收过多的红外线能量。而黄金则不同,它能够高效地将近红外光反射回晶圆上。可以说,黄金起到了集中能量的作用。这样,就不需要再增加更多的灯具,从而节省电费。同时,也能让热量更精准地作用于需要加热的区域。
处理潮湿环境带来的问题 这些灯具工作在潮湿的环境中,水无处不在,而且很容易渗入灯具内部。如果水分进入石英外壳,灯具就会立刻损坏,其寿命也会大大缩短。因此,我们必须确保密封性能良好,尤其是电线与连接器连接处。如果密封不严,就很容易导致短路,进而影响生产效率。
现实中的权衡 说实话,黄金的成本并不低。初始投资会比使用普通铝制反射器更高。不过,由于能耗较低,长期来看可以节省成本。不过需要注意的是,必须保持这些灯具的清洁。如果化学品附着在灯具表面,或者黄金发生氧化,其反射率就会下降。这时就需要增加功率来补偿,而这反而会导致晶圆变形。所以,一定要定期清洁这些灯具。虽然这需要一些功夫,但这样才能确保能源得到有效利用,同时保护晶圆的安全。