晶圆加热的安全距离

让我们来谈谈在高负荷半导体生产线上究竟会发生什么。一旦有灯泡损坏，那不仅仅是生产线暂停运转的问题，还会导致晶圆报废，造成巨大经济损失。我们设计了红外线卤素加热灯，就是为了从源头避免这种灾难性后果。 这并非依靠蛮力，而是通过巧妙的工程设计来确保安全距离，并精确控制热量输出。 功率、电压与几何结构——...