标签为“冲洗”的页面如下 用于冲洗的防水红外线灯 在清洗晶圆时,实际上就是在与时间赛跑。必须尽快去除晶圆上的水分,但同时又不能使用过高的温度,否则会损坏晶圆本身。 为了解决这个问题,我们使用了防水的红外线灯。不过,真正的关键在于那些镀有黄金的反射器。如果没有这些反射器,大量的热能就会浪费在机器的机壳上,既浪费了能源,也浪费了时间。 为什么选黄金?... Read more...
用于冲洗的防水红外线灯 在清洗晶圆时,实际上就是在与时间赛跑。必须尽快去除晶圆上的水分,但同时又不能使用过高的温度,否则会损坏晶圆本身。 为了解决这个问题,我们使用了防水的红外线灯。不过,真正的关键在于那些镀有黄金的反射器。如果没有这些反射器,大量的热能就会浪费在机器的机壳上,既浪费了能源,也浪费了时间。 为什么选黄金?... Read more...