如何让更多的热量作用于晶圆，同时减少对腔壁的加热 在真空环境下加热晶圆时，你实际上是在与物理定律作斗争。因为没有空气存在，所以无法依靠对流来传递热量，只能依靠辐射来加热晶圆。 问题在于：每一瓦特未被用于加热晶圆的能量都是浪费。这些能量最终会用来加热腔壁，从而给冷却系统带来更大的负担。这既浪费了能源...

在制造车间中，烘烤步骤直接决定产品的良率。无论是软性烘烤还是硬性烘烤，5℃的温差都可能影响关键尺寸的控制精度。如果加热器在运行过程中产生颗粒物，那产品质量就会受到影响。而真空室内的红外加热器则能避免这类问题，因为它能够以快速、精确的方式将热能传递到需要的位置。 关键点在于： 我们使用装在石英外壳中...