제조 현장에서는, 베이킹 온도가 단 0.5도만 변해도 치명적인 결과를 초래할 수 있습니다. 웨이퍼의 크기가 나노미터 단위로 변하게 되고, 그 결과 웨이퍼는 폐기 처분됩니다. 웨이퍼 처리 과정에서 온도 센서는 단순한 보조 장치가 아닙니다. 이 센서들은 리소그래피, 포토레지스트의 소프트 베이킹 및 하드 베이킹, 그리고 웨이퍼 세척 과정에서 필요한 온도를 제어합니다. 온도의 균일성이 떨어지면 생산 효율도 저하됩니다.
우리는 웨이퍼의 온도 균일성을 ±0.1°C 이내로 유지할 수 있는 센서를 만들었습니다. 이 센서는 빠르게 반응하며 일관된 성능을 보입니다. 센서는 클래스 1–100 기준을 충족하는 청정실용 케이스에 내장되어 있습니다. 사용된 재료들은 가스 발생을 최소화하고 입자 생성을 막도록 선택되었습니다. 센서의 출력값은 24/7 안정적으로 유지되며, 실시간으로 온도 변화를 감지하여 예기치 않은 정지 시간을 줄입니다. 또한 수천 번의 작동 주기에도 보정 기능을 유지합니다.
포토레지스트 처리 과정에서 소프트 베이킹은 용매의 비율을 조절하고, 하드 베이킹은 이미지를 고정시킵니다. 엄격한 온도 제어를 통해 베이킹 과정에서의 오류를 줄이고, 선의 너비를 더욱 정확하게 조절할 수 있습니다. 이를 통해 다양한 장비나 환경에서도 일관된 성능을 얻을 수 있으며, 입자 생성도 줄어들고 에너지 소비도 감소합니다. 웨이퍼 세척 및 건조 과정에서도 동일한 정밀도를 통해 표면 에너지를 안정시켜 건조 성능을 향상시키고 결함을 줄일 수 있습니다.
센서의 설치 요구 사항도 매우 엄격합니다. 센서는 열이 집중되는 부위에 위치해야 하며, 장비의 커넥터 및 마운팅 인터페이스와도 정확하게 연결되어야 합니다. PID 설정을 조정하고 웨이퍼 전체의 온도 균일성을 확인하기 위해 짧은 시간의 테스트가 필요합니다. 습도가 높은 환경에서는 커넥터의 밀폐성을 확인하고, ±0.1°C라는 규격을 유지하기 위해 정기적으로 보정을 해야 합니다.