웨이퍼용 맞춤 적외선 히터

Role 리소그래피 플로어에서, 포토레지스트 베이크 시 0.5°C의 편차는 “작은 오차”가 아니다. 이는 폐기된 웨이퍼, 손실된 마스크 레이어, 그리고 지연된 일정으로 이어진다. 웨이퍼 단위의 열 예산은 매우 엄격하며, 재현성은 선택 사항이 아니다. 이러한 현실을 바...