반도체 클린룸용 트롤리 히터

웨이퍼 가열 효율을 극대화하는 방법 반도체 클린룸에서 웨이퍼를 가열할 때는 단순히 “물건을 따뜻하게 만드는” 것이 아닙니다. 중요한 것은 에너지를 정확히 원하는 곳, 즉 웨이퍼 표면에 전달하는 것입니다. 대부분의 사람들은 일반적인 석영 램프를 사용하지만, 이러한 램프...