반도체 스퍼터링 히터

Role 공장 현장에서 스퍼터링 챔버 내부의 열 프로파일은 단순히 한눈에 보는 파라미터가 아니다. 이는 엄격한 한계치다. 히터가 편차를 보이면 필름 응력이 변하고, 결국 수율에 영향을 미친다. 우리는 웨이퍼를 목표 온도에 일정하게 고정시켜 증착 공정이 열 예산과 충돌...