웨이퍼 공정용 온도 센서

제조 현장에서는, 베이킹 온도가 단 0.5도만 변해도 치명적인 결과를 초래할 수 있습니다. 웨이퍼의 크기가 나노미터 단위로 변하게 되고, 그 결과 웨이퍼는 폐기 처분됩니다. 웨이퍼 처리 과정에서 온도 센서는 단순한 보조 장치가 아닙니다. 이 센서들은 리소그래피, 포토...