에바텍 증발기 가열 램프

Fab 현장에서 포토레지스트 베이크 중 0.3°C의 편차는 “작은 오차"가 아니다. 이는 수율 저하로 직결된다. 소프트 베이크와 하드 베이크 온도가 변동하면 치수 제어가 무너지며, 현장에서는 데이터 신뢰도가 떨어진다. Evatec 증발기 가열 램프...