ウェーハにより多くの熱を与え、同時に壁面への熱の伝わりを減らす方法 真空状態でウェーハを加熱する際、物理法則と戦っていることになります。空気がないため、対流に頼ることはできません。結局、放射熱に頼るしかありません。 問題は、ウェーハに届かない1ワットごとのエネルギーは無駄になってしまうということで...

製造現場において、焼成工程は製品の品質を左右する最も重要なステップです。ソフトベイクかハードベイクかに関わらず、5℃程度の温度変動だけで重要な寸法制御が乱れてしまいます。また、加熱器から粒子が発生すると、製品の品質は台無しになってしまいます。真空チャンバー内の赤外線ヒーターは、必要な場所に速やかに...