半導体ヒーターの供給業者

そのライン上では、300mmウェハがソフトベイクのために置かれており、これによって線幅の制御が行われます。もしホットプレートの位置がわずかにでもずれてしまうと、CDの均一性が悪化し、結果としてそのロット全体が廃棄処分になってしまいます。私たちは、まさにこのような状況に対応するための半導体ヒーターを...