省エネ型半導体ヒーター

製造現場では、ご存知の通り、わずか0.5度の温度変化でも重要な寸法が変わってしまいます。また、過度に高温で加熱すると、エネルギーだけでなく、フォトレジストも損傷してしまいます。必要なのは、シフトを重ねても、ツールを変えても、ロットを変えても、安定した温度制御です。 私たちは、短波赤外線を利用した加...