なぜ、すべてのウェーハ型IRセンサーに対してストレステストを行うのか？ シリコンを加工する際、失敗の代償は非常に大きい。わずかな電気漏れがあっただけで、そのロット全体が廃棄処分になってしまうのだ。 だからこそ、私たちは「サンプルテスト」を行わない。10個に1個だけテストして、うまくいくことを願うの...

ファブ内の炭素排出量を削減する：なぜ赤外線加熱が有効なのか 現在、すべてのファブは炭素中立という目標を達成するために大変なプレッシャーにさらされています。問題の多くは、特にウェーハの加熱や硬化の過程で発生する無駄なエネルギーです。 私たちの多くは依然として従来の抵抗式ヒーターを使っていますが、実際...

では、高負荷をかけられる半導体製造ラインで実際に何が起こるのかについて話しましょう。 1台のランプが故障するだけでも、それは単なる停止にとどまりません。それは汚染を意味し、ウェーハが廃棄され、金銭的な損失も発生します。私たちは、このような悪夢を根本から防ぐために、赤外線ハロゲン加熱ランプを開発しま...

私たちは、ウェーハの硬化処理に使用されるランプ用の反射器を開発しました。これは、製造ラインで抱えていた大きな問題を解決するものです。つまり、機械全体が炉のようになってしまわないようにしながら、ウェーハに最大限の熱エネルギーを与える方法です。基本的な考え方はシンプルです——必要な場所にだけ熱を集中さ...

ファブの現場では、焼成温度がわずか0.5度変動しても、ウェーハの寸法にナノメートル単位の影響が出ます。そうなると、そのウェーハは廃棄処分されてしまいます。ウェーハ用の温度センサーは単なる付加装置ではありません。これらのセンサーは、リソグラフィーやフォトレジストのソフトベイク、ハードベイク、そしてウ...

ライン上では、フォトレジストはわずかなばらつきも許しません。少しでも温度制御が狂うと、CDの制御が崩れてしまい、最終的にはウェーハ全体で欠陥を探すことになります。私たちは、このような熱処理のばらつきを解消するために、DNSスクリーンウェーハドライヤーランプを開発しました。 内部で重要なのは何か ウ...

リソグラフィ現場では、フォトレジストのベーク温度が0.5°Cずれることは「小さな誤差」ではない。これはウェーハの廃棄、マスク層の損失、そしてスケジュール遅延を意味する。ウェーハレベルでの熱予算は厳密であり、再現性は必須である。この現実に基づき、ウェーハ処理用のカスタム赤外線ヒーターを開発した。歩留...

ウェハーが最終すすぎから出てくる様子を確認してください。乾燥工程が確実に行われないと、ウォーターマークが発生し、フォトレジストの下層膜が剥離し始め、歩留まりに悪影響が出ます。当社のシリコンウェハー乾燥用赤外線ランプは、その変動要因を排除するために設計されています。 内部の重要ポイント 短波長赤外線...