牛津仪器加热元件

线路上的热漂移没有警告标签。您会看到它表现为5 nm的叠加失误、显影后的污垢线，或是直接追溯到一个烘烤板的良率下降。在光刻和光刻胶处理过程中，温度不是背景噪声——它就是过程。 我们为这一现实构建了Oxford Instruments加热元件。软烘烤和硬烘烤必须迅速达到设定点——在几秒钟内——并在整...