DNS 屏幕 晶圆干燥灯

在光刻过程中，光阻对温度变化极为敏感。哪怕是微小的温度偏差，都会导致CD控制失效，进而使得整个生产过程充满缺陷。因此，我们设计了DNS型晶圆干燥灯，以此来消除这一热处理环节中的不确定性。 关键在于温度的均匀性 该干燥灯能够确保晶圆表面的温度均匀性达到±0.1°C，这样每个曝光区域都能获得相同的温度...