晶圆制造线设备

在晶圆厂车间，光刻胶烘烤不仅仅是一个温度步骤，而是一项工艺公差。 温度偏差2℃会导致关键尺寸偏移，少量颗粒则会报废大量良品晶片。你需要的是如同真正工艺参数般稳定的热控系统，而不是临时附加在设备上的补充功能。 核心要点 我们构建的晶圆级热系统以重复性均匀性和洁净执行为基础。卤素和近红外加热架构保证晶...