用于半导体加热器的热电偶

为什么红外加热比热风加热更有效（以及它的局限性） 让我们来谈谈其中的延迟问题。如果使用热风循环加热方式，实际上就是在等待中度过时间——先加热空气，然后再等待空气将晶圆加热。这其实是一种间接的加热方式。在半导体加工过程中，这种延迟会严重影响生产效率，让整个流程变得缓慢。 这就是为什么我们转向使用红外...