红外发射器的陶瓷端盖

在晶圆加工过程中，只要光刻胶的烘干温度出现哪怕微小的偏差，都会严重影响线宽控制及产品良率。因此，热稳定性是至关重要的。红外发射器组件上的陶瓷端帽正是为了解决这个问题而设计的，它能够确保热场在晶圆所在位置保持稳定。 真正重要的因素是什么？ 陶瓷端帽既是热界面，也是固定红外发射器的机械结构，从而保证其...