半導体ヒーター用熱電対

なぜ赤外線加熱が熱風加熱より優れているのか（そして、どのような場合には適していないのか） まず、遅延の問題について話しましょう。熱風循環方式を使う場合、基本的には待つしかありません。空気を加熱した後、その空気がウェーハを温めるのを待つわけです。これは中間過程と言えます。半導体製造においては、この遅...